微量氣體流量計

微量氣體流量計為實驗室研發及精密制造設計。該系列產品采用層流壓差技術，具備高的測量精度與靈敏度，能夠精準捕捉微小流量的變化。  

其核心優勢在于毫秒級的響應速度和寬量程比，支持質量流量、體積流量及壓力的多參數實時顯示。設備通常配備彩色觸摸屏，操作直觀，且支持多種通訊接口，便于集成到自動化系統中。憑借無移動部件的堅固設計，該流量計在半導體、真空鍍膜等領域表現良好，是微量氣體控制與監測的理想選擇。

概述：

應用于多個OEM設備場合，尤其適合微小流量測量

適用于燃氣低壓力、泄漏測試的低流量、半導體等使用

±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用

可定制0.02-1SCCM微小流量

特點：

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
• F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項）

 尺寸圖：

使用注意事項：

一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。

五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
 

微量氣體流量計

性能參數： 

電器連接：