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美國艾里卡特ALICAT小流量氣體質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度。
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美國艾里卡特ALICAT小流量氣體質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度。
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艾里卡特微型氣體流量計 適用于研發實驗 產品體積小巧、響應迅速，可實現 SCCM 級別微量氣體穩定測量，內置多種氣體補償數據庫，無需重新校準即可切換不同氣體。具備高精度、低漂移、耐高溫高 壓等特點，廣泛適用于實驗室、科研分析、精密化工、半導體工藝等微量氣體測控場景。
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